Vaccum Coating Heater
真空镀膜设备中为核心部件（基片、靶材、工艺气体）提供精准可控加热的关键器件。在高真空环境下，通过电能转化为热能，实现"低放气、高均匀性、精准控温"的热管理，确保镀膜工艺（如PVD、CVD、ALD）稳定一致。
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